Perfilómetro mecánico para la industria.
¡P-17, el perfilómetro mecánico líder
desde hace 40 años!
P17
1. Eficiente
2. Alta resolución
3. I&D
4. Totalmente motorizado
5. Platina de 200 mm (opcional de 300 mm)
6. Rotación de 360 °
El P-17 es un perfilador avanzado de stylus de sobremesa, basado en más de 40 años de experiencia en metrología de superficie. El P-17 es capaz de medir pasos desde unos pocos nanómetros hasta un milímetro, para producción e investigación y desarrollo.
El sistema admite mediciones 2D y 3D de inclinación, rugosidad, arcos y restricciones para escaneos de hasta 200 mm sin costura.
Aplicaciones de perfilometría mecánica
- Altura de paso: altura de paso 2D y 3D
- Textura: rugosidad y ondulación 2D y 3D
- Forma: arco y forma 2D y 3D
- Tensión: tensión de película delgada 2D y 3D
- Examen de defectos: topografía de la superficie de defectos 2D y 3D
- industrias
- Universidades, laboratorios e institutos de investigación.
- Semiconductores y semiconductores compuestos
- LED: diodos emisores de luz
- Solar
- MEMS: sistemas micro-electromecánicos
- Almacenamiento de datos
- Automóvil
- Equipo médico
Más información sobre aplicaciones
Profilometría dedicada a la industria y la I&D.
El P-17 es un perfilómetro óptico de mesa de octava generación, basado en más de 40 años de experiencia en metrología de superficie. Este sistema avanzado admite mediciones 2D y 3D de altura de paso, rugosidad, arco y tensiones para escaneos de hasta 200 mm sin costura. Se logra una excelente estabilidad de medición a través de la combinación de un sensor UltraLite®, control de fuerza constante y una plataforma de escaneo ultraplana. Configurar la receta es rápido y fácil gracias a los controles de escena de apuntar y hacer clic, ópticas de vista superior y lateral y una cámara de alta resolución con zoom óptico. El P-17 admite mediciones 2D o 3D, con una variedad de algoritmos de filtrado, nivelación y análisis que cuantifican la topografía de la superficie. Se realizan mediciones totalmente automatizadas con reconocimiento de patrones, secuenciación y detección de características.
ADVANTAGES
- Altura de paso: nanómetros de hasta 1000 µm
- Baja resistencia con control de resistencia constante: 0.03 a 50 mg
- Escanee el diámetro completo de la muestra sin sewing
- Video: cámara a color de alta resolución de 5MP
- Corrección de arco: elimina los errores debidos al movimiento del arco del lápiz.
- Software: interfaz de software fácil de usar
- Capacidad de producción: totalmente automatizado con secuenciación, reconocimiento de patrones y SECS / GEM
Opciones
P-17 DE
The P-17 OF (Open Frame) has the same capacity as the P-17, but with a larger frame to allow the loading of larger samples. The system can be configured for 300 mm wafers or with a 240 x 240 mm mandrel.
Stylus options
The P-17 offers a variety of styli available to support the measurement of step height, steps with a high aspect ratio, roughness, sample curvature and stresses. The tip radius is between 40 nm and 50 µm and determines the lateral resolution of the measurement. The included angle, between 20 and 100 degrees, specifies the maximum aspect ratio of the feature being measured. All styli are made from diamond to reduce wear and increase the lifespan of the stylus.
Sample plate
The P-17 offers a range of sample holders available to meet the needs of applications. The standard is a universal vacuum stage with precision positioning pins for samples from 50 to 200 mm. The stage supports arc and stress measurements using 3-point locators to support the sample in a neutral position for precise bow measurements. Additional options are available for solar samples, hard drives and precision sample location plates.
Insulation tables
The P-17 offers both table and stand-alone insulation options. The Granite Isolator ™ series offers table systems combining granite with high quality silicone gel to provide passive insulation. The Onyz series table insulation systems use pneumatic isolators to provide passive insulation. The TMC 63-500 series isolation table is a stand-alone steel frame table that uses pneumatic isolators to provide passive isolation.
Step height
The P-17 uses NIST traceable step height standards, thin and thick, proposed by the VLSI standards. The standards include an oxide step on a silicon matrix mounted on a quartz block or an engraved quartz step with a chrome coating. A step height range of 8 nm to 250 µm is available.
Apex analysis software enhances the standard data analysis capability of the P-17 with an extensive suite of leveling, filtering, stage height, roughness and surface topography analysis techniques. Apex supports ISO roughness calculation methods, as well as local standards such as ASME. Apex can also serve as a reporting platform with the ability to add text, annotations and pass / fail criteria. Apex is available in eight languages.
Offline analysis software
The P-17 offline software has the same data analysis and recipe creation capabilities as the tool. This allows the user to create recipes and analyze data without using precious time.
Pattern recognition
Pattern recognition uses pre-taught patterns to automatically align the sample. This allows fully automated measurements for increased measurement stability by reducing the impact of operator errors. Pattern recognition, combined with advanced calibrations, reduces positioning errors and allows transparent transfer of recipes between systems.
SECS / GEM and HSMS
SECS / GEM and HSMS communications support factory automation systems and allow remote control of the P-17. The measurement results are automatically reported to the host SPC systems, as well as the alarms and the main calibration / configuration data. The P-17 complies with SEMI E4, E5, E30 and E37 standards.
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