Nanoindentadores

La nano-indentación es una técnica para caracterizar las propiedades de la superficie mecánica local en relación con las microestructuras de películas delgadas o materiales en volumen. En esta técnica, se aplica una pequeña carga a un punto local de la superficie con una punta de diamante de geometría conocida que penetra poco en el material. La profundidad de penetración se registra según la carga. La media de la fuerza aplicada, el desplazamiento de la punta y la profundidad de penetración permite determinar la nanodureza, el módulo de Young y la resistencia al desgaste de la muestra.

KLA ofrece una gama completa de probadores nanomecánicos de alto rendimiento para caracterizar materiales y necesidades de control de procesos. Con opciones flexibles de agregar y actualizar, sus nanoindenters se pueden usar para una amplia gama de mediciones de nanoescala, incluida la dureza, el módulo de young y la adhesión.