Perfilometría mecánica
La profilometría mecánica es una técnica de medición del perfil topográfico de una superficie mediante contacto. Una punta especial muy fina de diamante se utiliza para barrer la superficie de forma precisa mientras se registra su movimiento vertical con resolución nanométrica. Los perfiles medidos permiten el análisis de la forma, los estados de la superficie (rugosidad, ondulación, texturizado), medir la topografía en XYZ (relieve de superficie 3D), alturas de escalón o profundidad de canl, caracterizar la tensión generada mediante un proceso en unasuperficie (tensión 2D / 3D). Preciso y con respetibilidad de unos pocos Angstroms en Z y puede acomodar muestras grandes de hasta 500x500 mm.
La multinacional KLA Instruments y Toho Technology son los líderes del mercado de caracterización de superficies desde hace décadas.
Descubra porqué las soluciones de la gama de KLA Instruments y Toho Technology son las número 1!!.
P17 Perfilómetro
P-17 es el mejor perfilómetro de la serie P diseñado por KLA, una combinación de décadas de conocimiento especialmente adaptado a las preguntas de la industria. El perfilómetro más eficiente y efectivo, el P-17 tiene una serie de características únicas que lo hacen inmejorable en el mercado de los perfiles de alta resolución para I&D e Industria. El P17 es una versión totalmente motorizada y automatizada.
P7 Perfilómetro
Un perfilómetro compacto P7, es la versión ligera del P17, que ofrece lo mejor de la tecnología KLA a un bajo costo y satisface la mayoría de las necesidades de metrología de superficie. Tiene una platina de 150 mm, motorizada en XY. La rotación es manual a más de 360 °. El P-7 es una herramienta de metrología particularmente apreciada en Control de Calidad para Investigación e Industria.
D600 Perfilómetro
La serie KLA D incluye perfilómetros dedicados a I&D. El perfilómetro D600 permite la medición y análisis de perfiles 2D y 3D. Está equipado con una platina de 200 mm con motorización de movimiento XY, con rotación manual de 360° y una succión central. Como estándar, ya tiene un detector óptico doble que permite un rango de medición vertical de 0-1200 µm con precisión subnanométrica y una fuerza de presión baja ajustable (0.03 a 15 mg).
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D500 Perfilómetro
La serie KLA D incluye perfilómetros dedicados a I&D. El perfilómetro D500 permite la medición y análisis de perfiles 2D. Está equipado con una platina de 150 mm con desplazamiento XY y rotación manual. Como estándar, ya tiene un detector óptico doble que permite un rango de medición vertical de 0-1200 µm con precisión subnanométrica y una fuerza de presión baja ajustable (0.03 a 15 mg). Muy apreciado por el depósito / grabado o medición de la estructura.
Estándares de calibración
Este estándar de calibración versátil está diseñado para la calibración de perfiladores AFM, SEM, ópticos y mecánicos. Las características incluyen alturas de paso, líneas, cuadrículas, caja de aumento y estructuras de medición de diferentes pasos. Las características están grabadas en SiO2 y Si y están disponibles opcionalmente con un recubrimiento metálico para mejorar la reflectividad y reducir las cargas estáticas.