Mapeo automatizado del espesor de película fina
F60
1. Dedicado a la producción
2. Automatizado
3. Rápido
4. Personalizable
La familia F60-t mapea el espesor y el índice de la película al igual que nuestros productos F50, pero también incluye una serie de características diseñadas específicamente para entornos de producción. Estos incluyen la búsqueda automática de muescas, la línea base automática a bordo, una etapa de medición cerrada con enclavamiento de movimiento y una computadora industrial con software preinstalado.
- Serie F50: Mapeo de espesores personalizable - la mejor solución rentable / rentable. Más información >
- Serie F54 : Tamaño de punto fino - muestra de hasta 450 mm de diámetro - I + D. Más información>
- Serie F54-XY-200mm: Cubierta de protección acústica - Producción. Más información >
Aplicaciones
- FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES
- Fotógrafo
- Óxidos
- Nitruro
- Polisilicio
- PANTALLAS DE CRISTAL LÍQUIDO
- Huecos celulares
- Poliimida
- RECUBRIMIENTOS ÓPTICOS
- Recubrimientos de dureza
- Recubrimiento antirreflejos
- Filtros
More info on applications
- Amorfo y polisilicio
- dieléctrico - espesor duro
- Análisis de falla de IC
- ITO y otros TCO
- Equipamiento médico
- espesor del metal
- Microfluídica
- OLED
- Recubrimientos oftálmicos
- Recubrimientos de parileno
- Photoresist
- Silicio poroso
- Películas de tratamiento
- Índice de refracción & k
- Obleas y membranas de silicio
- Aplicaciones solares
- Laboratorios de enseñanza de semiconductores
- Rugosidad y acabado superficial
Mapeo automatizado de espesores para entornos de producción
El grosor de la película fina y n & k se mapean rápida y fácilmente con el sistema de reflectancia espectral avanzado F60. La platina motorizada R-Theta se mueve automáticamente a los puntos de medición seleccionados y proporciona mediciones de espesor en segundos. Elija uno de las docenas de patrones de mapa polares, rectangulares o lineales predefinidos, o cree uno propio sin límite en el número de puntos de medición. Un mapa típico de 49 puntos tarda unos 45 segundos.
Se incluyen una serie de características diseñadas específicamente para entornos de producción, como la búsqueda automática de muescas, la línea base automática a bordo, una etapa de medición cerrada con interbloqueo de movimiento y una computadora industrial con software preinstalado.
VENTAJAS
- Dedicado a la producción
- automatizado
- Rápido
- personalizable
Accessories
NIST-traceable thickness standard
F50 chuck - 100mm, 200mm, 300mm & 450mm
Specifications
Model Specifications
| Model | Thickness Range* | Wavelength Range |
|---|---|---|
| F60-t | 20nm - 70µm | 380-1050nm |
| F60-t-UV | 5nm - 40µm | 190-1100nm |
| F60-t-NIR | 100nm - 250µm | 950-1700nm |
| F60-t-EXR | 20nm - 250µm | 380-1700nm |
| F60-t-UVX | 5nm - 250µm | 190-1700nm |
| F60-t-XT | 0.2µm - 450µm | 1440-1690nm |
| F60-s980 | 4µm - 1mm | 960-1000nm |
| F60-t-s1310 | 7µm - 2mm | 1280-1340nm |
| F60-t-s1550 | 10µm - 3mm | 1520-1580nm |
*film stack dependent
Thickness Range*
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