Perfilómetro óptico para I&D
Hasta 6 técnicas en 1!
Zeta-20
1. Versatilidad y rendimiento
2. Medición puntual
3. Topografía 3D de alta resolución en color incluso en muestra transparente
4. Interferométrica: luz blanca VSI - Nomarski - PSI
5. Espesor de capas delgadas transparentes.
El Zeta-20 es un perfilómetro óptico totalmente integrado que proporciona metrología 3D y capacidad de imagen en un paquete compacto y robusto. El sistema funciona con la tecnología ZDot ™, que recopila simultáneamente datos 3D de alta resolución y una imagen de foco infinito de color verdadero. El Zeta-20 admite entornos de investigación y desarrollo y producción con óptica multimodo, software fácil de usar y bajo costo.
Aplicaciones en perfilometría óptica.
- Altura de paso: altura de paso 3D desde nanómetros a milímetros
- Textura: rugosidad 3D y ondulación en superficies lisas a muy rugosas
- Forma: arco y forma 3D
- Restricción: restricción de película delgada 2D
- Espesor de la película: espesor de la película transparente de 30 nm a 100 µm.
- Inspección de defectos: captura de fallas mayores de 1 µm
- Verificación de defectos: permite localizar buscar defectos con el fin de medir la topografía en la superficie 3D o localizar su
- densidad y posición.
- Altura de los escalón
- Espesor de la película delgada
- Textura: rugosidad y ondulación.
- Forma: medida de geometrías
- Estrés: estrés de las capas delgadas.
- Inspección automatizada de defectos
- Examen de defectos
- Células solares fotovoltaicas
- Empaque de semiconductores y semiconductores compuestos.
- Circuito impreso (PCB) y PCB flexible
- Ablación laser
- microfluidos
- Biotecnología
- Almacenamiento de datos
Más información sobre aplicaciones
- Ciencia de superficie
- Ciencia de los materiales
- Células solares
- Materiales para energía
- Semiconductores
- Polímeros y compuestos
- Rugosidad de la superficie
- Revestimientos
Profilometría dedicada a la I&D.
El perfilómetro óptico Zeta-20 es un sistema de medición de topografía de superficie 3D sin contacto. El sistema está impulsado por la tecnología patentada ZDot ™ y por una óptica multimodo que permite la medición de una variedad de muestras: transparentes y opacas, con reflectancia baja a alta, textura suave a rugosa y alturas de paso de unos pocos nanómetros a milímetros.
El Zeta-20 integra seis tecnologías diferentes de metrología óptica en un sistema configurable y fácil de usar. El modo de medición ZDot ™ basado en la iluminación mediante un grid patentado, permite realizar simultáneamente escaneo 3D de alta resolución y una imagen de foco infinito de color verdadero. Además, para muestras más complejas, permite otras técnicas de medición en 3D incluyen interferometría de luz blanca, microscopía de contraste de interferencia Nomarski e interferometría de corte. El espesor de la película se puede medir con ZDot o un reflectómetro de banda ancha integrado. El Zeta-20 también es un microscopio de alta gama que se puede utilizar para el examen de muestras o la inspección automática de defectos. El Zeta-20 admite entornos de investigación, desarrollo y producción al proporcionar mediciones completas de la altura, rugosidad y espesor de la película, así como funciones de inspección de defectos.
ADVANTAGES
- Versatility and Performance
- Punctual measurement
- High resolution 3D topography in color even on transparent sample
- Interferometric: VSI white light - Nomarski - PSI
- Thickness of transparent thin layers
- Perfilómetro óptico fácil de usar con ZDot y óptica multimodo para una amplia gama de aplicaciones
- Microscopio de alta calidad para examinar muestras o inspeccionar fallas
- ZDot: recopila simultáneamente escaneo 3D de alta resolución e imagen de foco infinito de color verdadero
- ZXI: interferometría de luz blanca para mediciones de área grande con alta resolución z
- ZIC: contraste de interferencia para datos cuantitativos en 3D de superficies con rugosidad inferior a un nanómetro
- ZSI: interferometría lateral para imágenes de alta resolución z
- ZFT: el espesor de la película y la reflectancia se miden utilizando un reflectómetro de banda ancha integrado
- AOI: control óptico automático para cuantificar los defectos en la muestra
- Capacidad de producción: mediciones totalmente automatizadas con secuenciación y reconocimiento de patrones.
Opciones
The Zeta-20 offers an integrated broadband spectrometer for measurements of transparent thin layer thickness from 30 nm to 100 µm. It is capable of measuring the thickness of a monolayer or multilayer stacking film, the user selecting the refractive index values from the material library. The thickness of the film can be mapped on the sample to determine the uniformity of the sample.
ZFT works on some of the least reflective surfaces, such as solar cells whose reflectance is less than 0.1%. Many film thickness tools have trouble getting a signal from these types of surfaces because they depend on reflected specular light to calculate the phase change or other parameters. Broadband white light and normal incidence lighting allow the tool to be used for a variety of low-reflectance optically transparent films.
ZXI: Zeta vertical scanning interferometry
The Zeta-20 supports phase scanning interferometry (PSI) and vertical scanning interferometry (VSI) when paired with the piezo stage and an interferometric objective. The PSI allows rapid measurements of pitch heights ranging from angstroms to hundreds of nanometers. The VSI allows you to measure step heights from several hundred nanometers to several hundred microns. Both are performed at a resolution better than a nanometer, regardless of the numerical aperture of the lens.
ZIC: Zeta interference contrast
The Zeta-20 uses Nomarski differential interference contrast microscopy to provide improved imaging of fine surface details. Nomarski microscopy uses polarization and a prism to change the phase to improve the slope changes on the surface of the sample. This makes it possible to visualize the defects on super-smooth surfaces, such as the monolayer of a contaminant. The ZIC scanning mode can convert these images into quantitative measurements of roughness below the nanometer level by correlating the change in slope with the roughness measured by another technique.
ZSI: Zeta shear interferometer
The Zeta-20 Shear Interferometer (ZSI) measurement technique improves the measurement of ZIC by adding a phase change. Several images are collected with different phases, then processed using advanced algorithms to generate a quantitative measure of the surface topography with a resolution at angstrom level. This technique does not require interferometric objectives and does not include Z-phase scanning, which makes it possible to obtain high resolution measurements ranging from angstroms to 80 nm.
Objective lenses
A wide range of objectives is available, including normal objectives from 1.25x to 150x, long working distance objectives, ultra-long working distance objectives, corrected refractive index objectives, objectives transmissive, liquid immersion objectives and vertical scanning interferometry objectives.
Couplers
The Zeta-20 can be configured with four different optical couplers to change the optical magnification. The system can be configured with the 1x coupler to keep the native magnification or with 0.35x, 0.5x or 0.63x couplers to increase the magnification.
Objective turret
The Zeta-20 can be configured with a 5- or 6-position manual turret and a lens sensor for automatic lens identification. The system can also be configured with a 6-position motorized turret for fully automated operation.
Lighting sample
The Zeta-20 uses two high brightness white LEDs as standard lighting. Backlighting through the chuck is also available to improve light in the case of difficult transparent samples. The Zeta-20 also supports side dark background lighting.
Stages
Sample plate
The Zeta-20 has a range of turntables available to meet the needs of applications. Solar samples require a 156mm sampling mandrel or a solar end plate to tilt the sample to measure the edge. Backlight plates are available for transparent substrates that support transmitted light. A 300 mm insert plate is available.
Insulation tables
The Zeta-20 has passive isolation feet built into the base of the system. If additional insulation is required, passive and active table isolation tables are available.
Tread height and film thickness standards
The Zeta-20 uses the traceable NIST thin and thick film step height standards proposed by VLSI standards. The standards include an engraved quartz step with a chrome coating. A step height range of 8 nm to 250 µm is available.
A certified multi-stage standard available at nominal step heights of 8, 25, 50 and 100 µm. The standard includes various height models for XY calibration. A certified film thickness standard is available for ZFT. It includes a reference silicon surface and a nominal thickness of silicon dioxide film of 270 nm. Roughness and reference mirror samples are also available.
Automated sequencing software
The automatic sequencing software uses the motorized XY stage to allow the user to program the measurement locations on the sample. The system will automatically measure each site and record the results in user defined folders. An output report with sample statistics is generated to summarize the results.
Advanced sequencing software includes pattern recognition to automatically align the sample. This allows fully automated measurements, reducing the impact of operator error. Automatic calibration can also be enabled when using standards integrated on the stage.
Assembly software
Automated image stitching software uses the motorized XY stage to combine adjacent scans to generate an assembled dataset larger than a single field of view. The system automatically measures each site, aligns the images and combines them into a single dataset. The results can be analyzed like any other results file.
Apex analysis software
Apex analysis software enhances the standard data analysis capability of the tool with an extensive suite of leveling, filtering, step height, roughness and surface topography analysis techniques. Apex supports ISO roughness calculation methods as well as local standards such as ASME. Apex also serves as a reporting platform with the ability to add text, annotations and pass / fail criteria. Apex is available in eight languages.
Offline analysis software
Zeta-20 offline software has the same data analysis and recipe creation capabilities as the tool. This allows the user to create recipes and analyze data without using precious time.
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