Profilomètre mécanique pour l’industrie
P17
1. Performant
2. Haute résolution
3. Industrie et R&D
4. Entièrement motorisé
5. Platine de 200mm (300mm en option)
6. Rotation à 360°
Le P-17 est un profileur de stylet de paillasse de pointe, fondé sur plus de 40 ans d'expérience en métrologie de surface. Le P-17 est capable de mesurer des marches de quelques nanomètres à un millimètre, pour les environnements de production et de recherche et développement.
Le système prend en charge les mesures 2D et 3D de hauteurs de pas, de rugosité, d'archet et de contraintes pour des numérisations allant jusqu'à 200 mm sans couture.
Profilomètrie mécanique
Applications en profilométrie mécanique
- Hauteur de marche: hauteur de marche 2D et 3D
- Texture: rugosité et ondulation 2D et 3D
- Forme: arc et forme 2D et 3D
- Stress: Contrainte de film mince 2D et 3D
- Examen des défauts: topographie de la surface des défauts 2D et 3D
- Industries
- Universités, laboratoires de recherche et instituts
- Semi-conducteur et semi-conducteur composé
- LED: diodes électroluminescentes
- Solaire
- MEMS: systèmes micro-électro-mécaniques
- Stockage de données
- Automobile
- Équipement médical
Plus d'info sur les applications
- Hauteur des marches
- Texture: rugosité et ondulation
- Forme: arc et forme
- Stress en couche mince 2D et 3D
La profilométrie dédiée à l'industrie et la R&D
Le P-17 est un profilomètre optique de table de huitième génération, fondé sur plus de 40 ans d'expérience en métrologie de surface. Ce système de pointe prend en charge les mesures 2D et 3D de la hauteur des marches, de la rugosité, de l’arc et des contraintes pour les numérisations jusqu’à 200 mm sans couture. Une excellente stabilité de mesure est obtenue grâce à la combinaison d'un capteur UltraLite®, d'un contrôle constant de la force et d'un plateau de balayage ultra-plat. La configuration de la recette est simple et rapide grâce aux commandes de la scène par pointer-cliquer, aux optiques de vues de dessus et de côté et à une caméra haute résolution avec zoom optique. Le P-17 prend en charge les mesures 2D ou 3D, avec une variété d’algorithmes de filtrage, de nivellement et d’analyse permettant de quantifier la topographie de la surface. Des mesures entièrement automatisées sont réalisées avec reconnaissance de formes, séquençage et détection de caractéristiques.
AVANTAGES
- Performant
- Haute résolution
- Industrie et R&D
- Entièrement motorisé
- Platine de 200mm (300mm en option)
- Rotation à 360°
- Hauteur de marche: Nanomètres jusqu'à 1000 µm
- Force faible avec contrôle de la force constante: 0,03 à 50 mg
- Scannez le diamètre complet de l'échantillon sans coudre
- Vidéo: Caméra couleur haute résolution 5MP
- Correction d'arc: supprime les erreurs dues au mouvement d'arc du stylet
- Logiciel: interface logicielle facile à utiliser
- Capacité de production: Entièrement automatisée avec séquençage, reconnaissance de formes et SECS / GEM
Options
P-17 DE
Le P-17 OF (Open Frame) a la même capacité que le P-17, mais avec un cadre plus grand pour permettre le chargement d’échantillons plus volumineux. Le système peut être configuré pour des wafers de 300 mm ou avec un mandrin de 240 x 240 mm.
Options de stylet
Le P-17 propose une variété de stylets disponibles pour prendre en charge la mesure de la hauteur des marches, des marches avec un ratio d'aspect élevé, de la rugosité, de la courbure de l'échantillon et des contraintes. Le rayon de la pointe est compris entre 40 nm et 50 µm et détermine la résolution latérale de la mesure. L'angle inclus, compris entre 20 et 100 degrés, spécifie le rapport de format maximal de la caractéristique mesurée. Tous les stylets sont fabriqués à partir de diamant pour réduire l'usure et augmenter la durée de vie du stylet.
Platine porte échantillon
Le P-17 propose une gamme de porte échantillon disponibles pour répondre aux besoins des applications. La norme est une platine universelle à vide avec des goupilles de positionnement de précision pour les échantillons de 50 à 200 mm. La platine prend en charge les mesures d'arc et de contrainte à l'aide de localisateurs à 3 points pour soutenir l'échantillon dans une position neutre pour des mesures d'archet précises. Des options supplémentaires sont disponibles pour les échantillons solaires, les disques durs et les plaques de localisation d’échantillons de précision.
Tables d'isolation
Le P-17 offre à la fois des options de table et de table d'isolation autonome. La série Granite Isolator ™ propose des systèmes de table associant du granit à un gel de silicone de haute qualité pour assurer une isolation passive. Les systèmes d'isolation de table de la série Onyz utilisent des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive. La table d'isolation de la série TMC 63-500 est une table autonome à cadre en acier qui utilise des isolateurs pneumatiques pour assurer une isolation passive.
Hauteur de marche
Le P-17 utilise des étalons de hauteur de marche traçables au NIST, à couche mince et épaisse, proposés par les normes VLSI. Les normes comprennent une étape en oxyde sur une matrice en silicium montée sur un bloc de quartz ou une étape en quartz gravée avec un revêtement en chrome. Une plage de hauteur de pas de 8 nm à 250 µm est disponible.
Logiciel d'analyse Apex
Le logiciel d'analyse Apex améliore la capacité d'analyse de données standard du P-17 avec une suite étendue de techniques d'analyse de nivellement, de filtrage, de hauteur d'étage, de rugosité et de topographie de surface. Apex prend en charge les méthodes de calcul de rugosité ISO, ainsi que les normes locales telles que ASME. Apex peut également servir de plate-forme de rédaction de rapports avec la possibilité d'ajouter du texte, des annotations et des critères de réussite / échec. Apex est proposé en huit langues.
Logiciel d'analyse hors ligne
Le logiciel hors ligne P-17 possède la même capacité d'analyse des données et de création de recettes que l'outil. Cela permet à l'utilisateur de créer des recettes et d'analyser des données sans utiliser de temps précieux.
La reconnaissance de formes
La reconnaissance de motif utilise des motifs pré-enseignés pour aligner automatiquement l'échantillon. Cela permet des mesures entièrement automatisées pour une stabilité accrue des mesures en réduisant l'impact des erreurs de l'opérateur. La reconnaissance des formes, associée à des étalonnages avancés, réduit les erreurs de positionnement et permet un transfert transparent des recettes entre les systèmes.
SECS / GEM et HSMS
Les communications SECS / GEM et HSMS prennent en charge les systèmes d'automatisation d'usine et permettent le contrôle à distance du P-17. Les résultats de mesure sont automatiquement rapportés aux systèmes SPC hôtes, ainsi que les alarmes et les principales données d'étalonnage / configuration. Le P-17 est conforme aux normes SEMI E4, E5, E30 et E37.
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