Standards Calibration – Marche étalon
Nanuler Calibration Standard
Cette norme d’étalonnage polyvalente est conçue pour l’étalonnage de profileurs AFM, SEM, optiques et mécaniques. Les caractéristiques comprennent les hauteurs des marches, les lignes, les grilles, la boîte de grossissement et les structures de mesure de tons différents. Les caractéristiques sont gravées dans SiO2 et Si et sont disponibles en option avec un revêtement métallique pour une réflectivité améliorée et des charges statiques réduites.
Profilomètrie mécanique
Caractéristiques de la hauteur de marche
Hauteur de marche
Cette structure de hauteur de marche en os de chien bien marquée a été créée pour offrir une fonctionnalité unique facilitant la localisation. Du SiO2 thermoformé précis et uniforme est utilisé pour des hauteurs de pas inférieures à 1 µm. Les étapes de silicium sont formées pour des caractéristiques de 5 à 25 µm.
Boite de magnification
Quatre boîtes concentriques (hauteur de 2 µm, 5 µm, 10 µm et 50 µm) peuvent être utilisées pour vérifier le grossissement et la linéarité x-y. Ces structures peuvent être utilisées pour vérifier le grossissement dans une plage allant de quelques centaines à 50 000 fois dans les SEM.
Réseaux
Il existe 4 configurations de réseau différentes avec des pas de 3 µm, 10 µm, 20 µm et 50 µm. Ces structures sont conçues pour l’étalonnage x-y des modèles AFM, SEM, TEM et Profilers.
Grilles
Ces grilles peuvent être utilisées pour la mesure de la topographie de surface, de la rugosité et du grossissement avec la plupart des SPM et des profilomètres disponibles sur le marché. D'autres applications incluent les faisceaux de focalisation et la définition / vérification des hauteurs d'étage Z en observant la diffusion du faisceau.
Structures à usages multiples
Ces réseaux de cercles, barres et carrés de hauteurs différentes (1 µm, 2 µm, 5 µm, 10 µm, 20 µm, 50 µm, 100 µm et 200 µm) peuvent être utilisés pour surveiller la taille du mouvement (XYZ) et fournissent une référence à différentes largeurs de trait.
Specifications
- Step Material: Si and SiO2
- Nominal Step Heights:
- SiO2 Steps: 100 nm, 200 nm, 500 nm and 1000 nm
- Si Steps: 5 µm, 10 µm and 25 µm
- Metal Coating: Cr coating (optional)
- Traceability: NIST calibrated Standards (Optional)
- Die Size: 8.0 mm x 8.2 mm x 0.5 mm
- Mounting Options: On quartz substrate and metal disc
Listes
| Step Height | Description | Step Type | Metal Coating | Mounted on Metal Disc | Mounted on Quartz Substrate | NIST Traceable Option |
| 100 nm | 100 nm SiO2 Step Height Reference | SiO2 | ||||
| 100 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | |||
| 100 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes |
Yes |
|||
| 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated | SiO2 | No | ||||
| 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | Yes | ||
| 100 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes | Yes |
Yes |
||
| 200 nm | 200 nm SiO2 Step Height Reference | SiO2 | ||||
| 200 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | |||
| 200 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes | Yes | |||
| 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated | SiO2 | Yes | No | |||
| 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | Yes | ||
| 200 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes | Yes |
Yes |
||
| 500 nm | 500 nm SiO2 Step Height Reference | SiO2 | ||||
| 500 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | |||
| 500 nm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes | Yes | |||
| 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated | SiO2 | Yes | ||||
| 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | Yes | ||
| 500 nm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes | Yes | Yes | ||
| 1 µm | 1 µm SiO2 Step Height Reference | SiO2 | ||||
| 1 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | |||
| 1 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Metal Disc | SiO2 | No | Yes | Yes | ||
| 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated | SiO2 | Yes | ||||
| 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Quartz Substrate | SiO2 | Yes | Yes | Yes | ||
| 1 µm SiO2 Step Height Reference, metal coated and mounted on Metal Disc | SiO2 | Yes | Yes | Yes | ||
| 5 µm | 5 µm SiO2 Step Height Reference | Si | ||||
| 5 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | Si | Yes | Yes | |||
| 10 µm | 10 µm SiO2 Step Height Reference | Si | ||||
| 10 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | Si | Yes | Yes | |||
| 30 µm | 30 µm SiO2 Step Height Reference | Si | ||||
| 30 µm SiO2 Step Height Reference, mounted on Quartz Substrate | Si | Yes | Yes |
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