Systèmes d’analyse
Famille de systèmes de dépôt
1. XPS
2. NAP-XPS
3. ARPES
4. FTIR
5. AFM
6. ISS
7. ARUPS
8. ...
PREVAC est un leader mondial dans la fabrication d'instruments de recherche scientifique UHV et d'investigation sur les propriétés chimiques et physiques de surfaces semi-conductrices, de couches minces et de nano-matériels. PREVAC conçoit aussi des systèmes personnalisés de dépôt et d'analyse. De plus, PREVAC offre une large gamme de composants : sources d’émission (ions, électrons, rayons X/UV/thermiques), chambres de conditionnement, transfert et manipulation d’échantillon. Les systèmes et composants PREVAC sont installés de part le monde.
Analyse sous vide
Accessoires
et instruments >
Voici quelques projets réalisés :
Système UPS XPS
Système ARPES UHV
Système multi-chambres UHV
La gamme de systèmes d’analyse de surface de PREVAC repose sur un outil d’analyse extrêmement flexible, optimisé pour les mesures XPS (ESCA), UPS, ISS et AES. La résolution en énergie de l'analyseur hémisphérique est <3 meV (FWHM à 2 eV énergie de passage). Outre le spectromètre, un logiciel de contrôle polyvalent est fourni. Il stocke les données dans un format standard ouvert (JSON) et permet d’exporter les données dans divers autres formats (hdf5, ini, txt), utilisés par différents programmes d’évaluation XPS autonomes.
- Analyseur d'énergie hémisphérique EA15 - équipé d'un nombre total de 11 fentes, l'analyseur offre la possibilité de choisir entre la meilleure résolution énergétique et la meilleure intensité. Rayon moyen: 150 mm. Gamme d'énergie cinétique: 0-2000 eV,
- Source de rayons X RS 40B1 - source de rayons X à anode double haute intensité,
- Source de rayons X avec monochromateur RMC50 avec ensemble électronique (contrôleur d’émission, boîte de refroidissement et alimentation haute tension pour le fonctionnement des sources de rayons X RMC50 et RS40B1),
- Source UV UVS 40A2,
- RUDI-EA2 - électronique hautement stable et à faible bruit,
- SPECTRIUM - un outil logiciel progressif et optimisé en matière de manipulation et d’interface graphique intuitive,
- 4-5-6 axes, manipulateur UHV entièrement motorisé (avec chauffage et refroidissement),
- Système de pompage pour chambre d'analyse et composants d'analyse,
- Système de dosage de gaz pour la chambre d'analyse.
La chambre d'analyse avec doublure en mu-métal garantit un champ magnétique résiduel inférieur à 0,1 microTesla et une plage de pression de base de 5 * 10-11 mbar comprenant:
- Cycle fermé Manipulateur haute résolution avec refroidissement LHe (température de l'échantillon inférieure à 15 K) - entièrement motorisée
- Optimisé pour les applications extrêmement demandées, analyseur d'électrons ARPES de haute précision
- Source UV monochromatique pour la mesure de l'onduleur avec système de pompage dédié
La chambre de chargement permet de charger jusqu'à 12 porte-échantillons de style drapeau
La chambre de préparation montée sur le dessus de la chambre d'analyse, qui permet d'utiliser un manipulateur pour les deux chambres, comprend:
- Source de pulvérisation ionique pour le nettoyage des échantillons
- Système de mesure du taux de dépôt: balance à quartz et moniteur d'épaisseur
- Évaporateur d'or (cellule d'effusion)
- LEED avec plaque multicanaux pour mesure Leed / Auger
Chambre de stockage avec mécanisme de parcage pour porte-échantillon de style 12 drapeaux
La chambre de distribution radiale (UFO) pour le transfert des échantillons est transférée entre les chambres sous des pressions UHV
Accessoires:
- Ensemble de porte-échantillons multimatériaux multifonctionnels dédiés
- Rack spécial pour toutes les unités électroniques
- Système de cuisson spécial
Chambre IR permettant la mesure infrarouge dans des conditions de vide:
- Système de ports en verre au bromure de potassium préparé pour une utilisation avec les spectromètres infrarouges Bruker Optics Inc.
- Le manipulateur 4 axes haute précision avec refroidissement LN2 et chauffage EB jusqu'à 2000 ° C permet d'effectuer des mesures en réflexion et en transmission
- Source de pulvérisation ionique pour le nettoyage des échantillons
- Le spectromètre de vide infrarouge de haute précision avec cadre dédié permet
- Système de dosage de gaz
- Système de régulation de pression large gamme (1 mbar -10-10 mbar)
- Manipulateur 4 axes haute précision avec refroidissement LN2 et chauffage EB jusqu'à 2000 ° C
- Source de pulvérisation ionique pour le nettoyage des échantillons
- Source d'hydrogène atomique
- Optique LEED –AUGER
- Spectromètre de désorption thermique TDS
La chambre de distribution radiale (UFO) pour le transfert des échantillons est transférée entre les chambres sous des pressions UHV
La chambre Load Lock permet de charger le porte-échantillon PTS
- Ensemble de porte-échantillons multimatériaux multifonctionnels dédiés
- Rack spécial pour toutes les unités électroniques
- Système de cuisson spécial
- Pièces de rechange
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